




氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應(yīng)用的需求,也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。(3)電子行業(yè)微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。
離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率
真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。一般采用檢漏盒或氦罩法,即把被檢件抽真空,然后向罩內(nèi)充入氦氣,等待一定時間,確定總漏率的大小。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產(chǎn)品。
機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。


檢漏儀常規(guī)的維護
適當?shù)木S護您的檢漏儀是非常必要的,具體步驟如下:
1、探頭清潔:利用附送的防護罩防止灰塵、水汽和油脂阻塞探頭,在使用本儀器前,均要檢查探頭和防護罩確無灰塵或油脂。
2、拉下防護罩;
3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護罩;
4、如果探頭本身也臟,可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘,然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔,嚴禁用像礦物油等溶劑,這樣易降低儀器靈敏度。
5、探頭更換:探頭終總要失效,需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關(guān),因此較難預計準確的更換時間。當在清潔、純凈空氣中報警或不穩(wěn)定時,應(yīng)更換探頭,具體探頭步驟是如下:
(1)確認本儀器處于關(guān)閉狀態(tài)
(2)逆時針旋下舊探頭
(3)順時針旋上包裝箱中提供的備用探頭。
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真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車空調(diào)的應(yīng)用一
水檢和氦檢兩種檢漏方法的分析
目前,水檢和氦檢兩種檢漏方法國內(nèi)汽車空調(diào)兩器檢漏主要的方法,下面將分析兩種檢漏方法的優(yōu)缺點。
1.1 傳統(tǒng)水泡法檢測分析
水泡檢漏法,屬于檢測精度要求不高的粗檢漏,就是將被檢工件充入一定壓力的干燥壓縮空氣或者是氮氣,然后放入水中,觀察是否有氣泡從被檢工件中跑出來,如果有,則說明漏,而且指出什么位置泄漏,一般只確定被檢件是漏還是不漏,而不需定量。但并不是說氣泡檢漏就不能定量。氦質(zhì)譜檢漏儀在消防器材檢漏應(yīng)用一消防器材鋼瓶檢漏原因滅火器屬于特殊器材,在發(fā)生火災的情況下使用,所以一般都會閑置,但是裝有滅火材料的鋼瓶瓶里有2。在某些情況下,氣泡檢漏也可以定量。檢出氣泡的漏率與氣泡直徑、氣泡形成速率、充氣的種類有關(guān)。
因此,對于空調(diào)兩器檢漏來說,采用水檢方法,靈敏度較低。受人為因素影響,漏判誤判率會明顯增加。另外,工件水檢后,外表面有水,需烘干處理,耗電多,耗費勞動力也多。但水檢法也有優(yōu)點,就是操作簡單直觀,而且能夠查找漏點位置。
1.2 氦質(zhì)譜檢漏方法分析
氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體,對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想方法。
氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點在于:氦是惰性氣體,對大氣無污染,使用安全;氦原子質(zhì)量小,黏度小,易滲透過可能存在的漏隙。氦氣在大氣中含量?。?ppm),不易受干擾。氦質(zhì)譜檢漏儀檢測靈敏度高,速度快,適用范圍廣。
目前國內(nèi)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀較小可檢漏率可達到5.0×10-13 Pa·m3/s。目前,國內(nèi)外比較流行的針對空調(diào)兩器檢漏方法,多采用真空箱法。
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